真空閥是在低壓或真空狀態(tài)下正常工作,實(shí)現對介質(zhì)的控制,如開(kāi)啟、關(guān)閉或調節流量。真空閥在半導體制造、真空鍍膜、空間模擬、科研實(shí)驗以及工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的真空應用中扮演著(zhù)至關(guān)重要的角色。
真空閥的種類(lèi)繁多,根據其功能和結構特點(diǎn),可以分為以下幾類(lèi):
截止閥(Globe Valve):通過(guò)旋轉閥瓣來(lái)控制流體的流動(dòng),適用于需要控制流量的場(chǎng)合。
球閥(Ball Valve):利用球體內部的孔來(lái)控制流體流動(dòng),操作簡(jiǎn)便,密封性能良好。
蝶閥(Butterfly Valve):通過(guò)旋轉軸上的蝶板來(lái)控制流體流動(dòng),結構簡(jiǎn)單,重量輕,適用于大口徑管道。
隔膜閥(Diaphragm Valve):使用柔性膜片作為密封元件,適用于腐蝕性介質(zhì)和清潔要求高的場(chǎng)合。
針型閥(Needle Valve):通過(guò)小直徑的針狀閥芯來(lái)控制微小流量,常用于精密控制。
止回閥(Check Valve):自動(dòng)防止介質(zhì)倒流,只允許單向流動(dòng)。
安全閥(Safety Valve):當壓力超過(guò)設定值時(shí)自動(dòng)打開(kāi),釋放多余壓力,保護系統安全。
真空閥的設計要考慮到工作介質(zhì)的性質(zhì)(如溫度、壓力、腐蝕性)、工作環(huán)境(如真空度、振動(dòng))以及操作要求(如手動(dòng)、自動(dòng)控制)。此外,真空閥的密封性能尤為重要,因為在真空狀態(tài)下,即使是微小的泄漏也可能導致系統性能下降。因此,真空閥通常采用金屬波紋管、V型密封圈等高質(zhì)量密封材料來(lái)確??煽康拿芊庑Ч?。